1-1 تحدد هذه المواصفة القياسية إجراءات تقدير باراميتر الانحلال ثلاثي العمل، وتقدير أي مقدار لتلف الحافة الرئيسية، وكذلك مقدار تلف حافة الجر، ومقدار توسعة دالة غاوس، وذلك فيما يتعلق بعمق SIMS باستخدام المواد المرجعية ذات طبقات دلتا المتعددة. 1-2 لا تُطبق هذه المواصفة القياسية الدولية على طبقات دلتا حيث تكون منطقة السطح القريبة ذات الحالة الفيزيقة والكيميائية والتي تم تعديلها من خلال الأيونات الأولية في حالة غير مستقرة.